我公司專業(yè)研發(fā)生產(chǎn) 射頻電源、匹配器系列產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備、等離子體刻蝕、等離子體清洗、等離子體發(fā)生、PECVD/CVD/PVD、薄膜沉積、射頻濺射、醫(yī)療美容、科學(xué)研究等方面。
工作頻率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
輸出功率:300W、600W、1kW、1.5kW、2kW、3kW、6kW、8kW、10kW或定制
我公司專業(yè)研發(fā)生產(chǎn) 射頻電源、匹配器系列產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備、等離子體刻蝕、等離子體清洗、等離子體發(fā)生、PECVD/CVD/PVD、薄膜沉積、射頻濺射、醫(yī)療美容、科學(xué)研究等方面。
工作頻率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
輸出功率:300W、600W、1kW、1.5kW、2kW、3kW、6kW、8kW、10kW或定制
v 先進(jìn)高效率、高穩(wěn)定性射頻功放技術(shù)
v 全數(shù)字控制,高穩(wěn)定度和高可靠性
v 穩(wěn)定可靠的功放和直流控制模塊
v 具有駐波保護(hù)功能,能在負(fù)載出現(xiàn)異常后快速啟動(dòng)
v 輸出功率余量大,可長期穩(wěn)定的工作
v 具有精確的功率測量功能,能精確的測量入射和反射功率
v 具有自動(dòng)增益控制,能精準(zhǔn)的控制輸出功率
v 支持本地控制和遠(yuǎn)程控制,遠(yuǎn)程控制采用RS485和RJ45網(wǎng)口
v 采用先進(jìn)的功放技術(shù),輸出功率可從50W至最大輸出功率連續(xù)可調(diào)
v 模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),安裝維修方便,節(jié)省空間,結(jié)構(gòu)外形美觀,大方
v 支持實(shí)時(shí)功率和負(fù)載阻抗測量
v 支持連續(xù)工作模式、脈沖工作模式
v 完善的保護(hù)功能:過荷、過流、過溫等保護(hù)
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